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MEMS薄膜敏感层品质控制规范.docx

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    MEMS薄膜敏感层品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 2

    二、规范性引用文件 3

    三、术语和定义 5

    四、品质控制目标 8

    五、敏感层材料要求 10

    六、基底与界面要求 14

    七、薄膜制备过程控制 17

    八、膜层结构与尺寸要求 19

    九、物理性能指标 21

    十、电学性能指标 24

    十一、环境适应性要求 26

    十二、检验与测试方法 29

    十三、抽样与判定规则 32

    十四、不合格品控制 35

    十五、标识包装与储存 37

    范围

    目的界定

    本规范旨在为MEMS薄膜敏感层品质管控划定清晰、统一的基准

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