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MEMS可靠性试验件品质控制规范.docx

MEMS可靠性试验件品质控制规范.docx

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    MEMS可靠性试验件品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、规范性引用文件 4

    三、术语和定义 5

    四、品质控制原则 8

    五、试验件分类与标识 10

    六、技术要求 13

    七、设计与工艺控制 19

    八、原材料与外购件控制 20

    九、制造过程质量控制 22

    十、检验与试验要求 27

    十一、可靠性试验管理 31

    十二、失效分析与处置 35

    十三、数据记录与追溯 38

    十四、不合格品控制 43

    十五、包装储存与交付 46

    范围

    适用范围

    本规范适用于MEMS可靠性试验件在完整生产、流通过程

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