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MEMS微压差芯片品质控制规范.docx

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    MEMS微压差芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 2

    二、规范性术语 4

    三、产品分类与结构 5

    四、质量管理要求 9

    五、设计质量控制 12

    六、原材料质量控制 15

    七、晶圆制造质量控制 17

    八、芯片封装质量控制 21

    九、关键工艺控制 23

    十、检验与试验要求 26

    十一、性能指标要求 29

    十二、可靠性验证要求 33

    十三、环境适应性要求 35

    十四、静电防护与洁净管理 37

    十五、标识包装与储存 39

    十六、不合格品控制 41

    十七、质量记录与追溯 43

    适用范

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