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MEMS封装基板品质控制规范
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一、范围 2
二、规范性引用文件 3
三、术语和定义 6
四、产品分类与结构要求 9
五、质量目标与控制原则 14
六、原材料质量要求 17
七、设计与工艺控制 19
八、生产过程质量控制 21
九、关键尺寸与外观要求 23
十、可靠性与环境试验 25
十一、检验与试验方法 28
十二、检验规则与抽样方案 30
十三、标识包装与储存运输 33
十四、不合格品控制 36
十五、质量记录与追溯管理 38
范围
总体界定
本规范旨在确立MEMS封装基板品
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