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MEMS信号处理芯片品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、适用范围 3

二、规范性术语 5

三、产品分类与型号标识 9

四、质量管理职责 12

五、设计开发质量控制 15

六、晶圆制造过程控制 18

七、封装与组装质量控制 20

八、关键性能指标要求 22

九、电气与功能测试要求 25

十、环境可靠性试验 28

十一、静电防护与洁净控制 30

十二、检验规则与抽样方案 35

十三、不合格品控制 37

十四、标识包装与储运 40

十五、质量记录与追溯管理 43

适用范围

适用范围界定

本规范所设

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