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MEMS信号处理芯片品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、适用范围 3
二、规范性术语 5
三、产品分类与型号标识 9
四、质量管理职责 12
五、设计开发质量控制 15
六、晶圆制造过程控制 18
七、封装与组装质量控制 20
八、关键性能指标要求 22
九、电气与功能测试要求 25
十、环境可靠性试验 28
十一、静电防护与洁净控制 30
十二、检验规则与抽样方案 35
十三、不合格品控制 37
十四、标识包装与储运 40
十五、质量记录与追溯管理 43
适用范围
适用范围界定
本规范所设
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