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MEMSASIC复合芯片品质控制规范.docx

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    MEMSASIC复合芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类 6

    四、质量目标 9

    五、设计质量控制 10

    六、原材料与外协控制 17

    七、制造过程控制 20

    八、MEMS敏感结构控制 23

    九、ASIC电路控制 25

    十、封装与互连控制 28

    十一、检验与试验 30

    十二、可靠性评价 32

    十三、不合格品控制 36

    十四、追溯与数据管理 39

    十五、质量改进流程 42

    范围

    适用场景界定

    本规范适用于对MEMSASIC复合芯片进行从设计输入、材料甄

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