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MEMS多参数传感芯片品质控制规范.docx

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    MEMS多参数传感芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 7

    三、术语和定义 9

    四、产品分类与型号 12

    五、芯片质量目标 13

    六、质量管理要求 15

    七、设计质量控制 19

    八、原材料与外协件控制 22

    九、晶圆制造过程控制 24

    十、芯片封装过程控制 28

    十一、测试设备与计量管理 31

    十二、检验环境与条件 34

    十三、外观质量要求 37

    十四、电气性能要求 39

    十五、多参数测量性能要求 42

    十六、温度特性要求 44

    十七、交叉敏感与稳定性要求 47

    十

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