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MEMS微梁阵列品质控制规范.docx

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    MEMS微梁阵列品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 2

    二、术语和定义 3

    三、产品分类 6

    四、质量目标 8

    五、技术要求 9

    六、设计质量控制 11

    七、原材料质量控制 14

    八、生产过程控制 16

    九、生产环境控制 18

    十、外观与尺寸检验 20

    十一、电学性能检验 24

    十二、力学性能检验 26

    十三、可靠性检验 27

    十四、检验设备与量具管理 29

    十五、抽样与判定规则 32

    十六、不合格品控制 34

    十七、标识包装与质量追溯 37

    适用范围

    本规范主要适用于各类ME

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