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MEMS多轴传感器品质控制规范.docx

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    MEMS多轴传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语和定义 7

    三、品质控制目标 9

    四、传感器分类与结构 11

    五、质量管理体系 13

    六、设计开发控制 16

    七、供应商质量管理 20

    八、原材料与元器件检验 22

    九、制造过程控制 24

    十、洁净与环境控制 27

    十一、装配与封装控制 29

    十二、软件与固件管理 32

    十三、校准与补偿 35

    十四、电气性能检验 37

    十五、机械性能检验 39

    十六、环境可靠性试验 41

    十七、多轴交叉耦合评估 48

    十八、测量系统分

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