MEMS工业传感器品质控制规范.docx

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MEMS工业传感器品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、范围 4

二、术语和定义 6

三、质量管理目标 10

四、产品分类与型号 12

五、产品质量要求 15

六、设计开发控制 17

七、关键元器件控制 20

八、原材料质量控制 22

九、生产过程控制 24

十、洁净环境与静电防护 27

十一、封装与装配控制 30

十二、软件与固件控制 32

十三、计量器具管理 35

十四、校准与补偿控制 36

十五、性能检验方法 39

十六、环境适应性试验 43

十七、可靠性验证 46

十八、电磁兼容

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