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MEMS微阀器件质量管控规范.docx

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    MEMS微阀器件质量管控规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 3

    二、术语和定义 4

    三、质量管理要求 6

    四、质量目标与策划 12

    五、设计开发控制 13

    六、原材料与外购件控制 15

    七、生产过程控制 17

    八、洁净度与污染控制 20

    九、检验与试验要求 23

    十、性能指标与测试方法 25

    十一、可靠性与环境试验 29

    十二、包装储存与运输 31

    十三、标识与追溯管理 34

    十四、不合格品控制 38

    十五、质量记录与改进 41

    适用范围

    技术覆盖范围

    本规范适用于MEMS微阀器件从设计论

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