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MEMS传感器环境适应性验证方案.docx

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    MEMS传感器环境适应性验证方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、验证目标 4

    二、验证范围 6

    三、产品信息 8

    四、验证原则 10

    五、环境应力识别 12

    六、失效模式分析 14

    七、验证项目策划 18

    八、样品与分组 23

    九、设备与工装 26

    十、测试条件设定 29

    十一、测试流程安排 31

    十二、初始性能测量 34

    十三、高低温试验 36

    十四、温度冲击试验 40

    十五、湿热试验 43

    十六、振动试验 46

    十七、机械冲击试验 49

    十八、低气压试验 53

    十九、防尘防水试验 5

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