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MEMS湿度芯片品质控制规范.docx

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    MEMS湿度芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 4

    二、术语和定义 5

    三、质量目标与原则 7

    四、质量管理职责 9

    五、供应商质量管理 12

    六、原材料与外购件控制 16

    七、产品设计质量控制 19

    八、工艺开发与验证 21

    九、生产过程控制 23

    十、生产设备与工装管理 25

    十一、洁净环境与防静电控制 29

    十二、产品检验与测试 31

    十三、性能参数与判定要求 33

    十四、校准与测量管理 36

    十五、可靠性与环境试验 39

    十六、芯片封装与防护 41

    十七、标识与批次追

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