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MEMS传感器质量控制操作手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、质量管理目标与适用范围 3
二、质量组织与岗位职责 5
三、产品质量策划与控制计划 10
四、供应商准入与来料质量管理 12
五、原材料与关键部件检验 15
六、MEMS芯片制造过程控制 19
七、晶圆加工质量控制 21
八、封装工艺质量控制 25
九、传感器校准与补偿管理 28
十、生产设备与工装管理 31
十一、洁净环境与污染控制 34
十二、检验测量设备管理 36
十三、过程检验与巡检要求 38
十四、成品检验与放行管理 41
十五、可靠性与
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