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变形镜面形校正试验规范

1范围

本规范规定了变形镜面形校正试验的试验对象、试验环境要求、试验设备、试验流程、数据处理方法、误差评定准则及试验安全注意事项，适用于自适应光学系统中压电驱动式、静电驱动式、音圈驱动式变形镜的出厂校正、定期维护校正及在轨/外场部署前的面形校正试验，其他类型变形镜的面形校正试验可参照本规范执行。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2887计算机场地通用规范GB/T17169光学零件面形误差测量方法干涉法JJF1033计量标准考核规范ISO10110-5光学和光子学光学零件和系统的图纸标注第5部分：表面形位公差

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1变形镜（DeformableMirror,DM）由多个独立驱动单元控制镜面面形变化的光学元件，可用于动态补偿光学系统中的波前误差。3.2面形残差（SurfaceResidualError）校正后变形镜实际面形与目标面形的偏差值，通常以均方根（RMS）或峰谷值（PV）作为评价指标。3.3驱动响应函数（ActuatorResponseFunction,ARF）单个驱动单元施加单位驱动电压时，变形镜表面产生的位移