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MEMS老化筛选器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 2
二、规范性引用文件 6
三、术语和定义 7
四、质量控制目标 11
五、器件分类与筛选等级 13
六、筛选流程总体要求 18
七、来料检验要求 20
八、老化前电性能测试 22
九、老化应力条件 26
十、老化设备与工装要求 28
十一、老化过程监控 31
十二、老化后性能测试 33
十三、失效判定与分析 37
十四、抽样与判定规则 43
十五、数据记录与追溯 45
十六、异常处置与纠正措施 47
十七、文件管理与持续改进 4
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