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晶圆代工件质量管控规范.docx

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    晶圆代工件质量管控规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、术语与定义 10

    三、质量管理职责 13

    四、质量策划与目标 15

    五、供应商与来料管理 18

    六、晶圆制造过程控制 21

    七、关键工序与特殊过程控制 24

    八、设备与工装管理 26

    九、检验与试验管理 30

    十、产品标识与追溯 33

    十一、不合格品控制 35

    十二、变更管理 38

    十三、客户要求与订单评审 41

    十四、数据分析与质量改进 43

    十五、文件与记录管理 46

    十六、审核与持续改进 49

    总则

    目的与依据

    本规范旨在针对

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