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MEMS传感器生产过程检验规范.docx

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    MEMS传感器生产过程检验规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、检验术语 5

    三、检验职责 9

    四、质量控制要求 12

    五、原材料检验 15

    六、晶圆来料检验 18

    七、晶圆制造过程检验 19

    八、芯片封装过程检验 21

    九、传感器组装检验 24

    十、产品校准检验 27

    十一、产品性能检验 29

    十二、外观与尺寸检验 33

    十三、检验设备与环境管理 35

    十四、抽样与判定规则 38

    十五、不合格品控制 40

    十六、检验记录与追溯管理 44

    总则

    目的界定

    本规范旨在建立系统化、规范化的MEM

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