MEMS加工误差对圆环形与多边形多环陀螺结构对称性的影响研究.pptx

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目录

01

研究背景与科学问题

02

结构设计与实验方法

03

加工误差作用机制解析

04

对称性退化现象的实证分析

05

几何形态与工艺鲁棒性的关联规律

06

结论与前瞻应用方向

研究背景与科学问题

01

速率积分MEMS陀螺对结构对称性的极端敏感性构成高精度惯性导航的核心挑战

MEMS陀螺精度

结构对称性

理想对称维持模态简并，避免频率分裂。

几何偏差导致零偏漂移与测量失真。

质量不均降低信噪比，影响长期稳定性。

工艺缺陷影响

刻蚀不均引入非科里奥利信号干扰。

应力梯度引发模态串扰，削弱检测精度。

电极间隙不对称使有效信号被正交噪声淹没。

模态串扰问题

驱动与检测模态间发生