MEMS智能微系统品质控制规范.docx

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MEMS智能微系统品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、范围 2

二、术语和定义 4

三、质量管理原则 7

四、产品分类与组成 9

五、质量目标与策划 11

六、设计开发控制 14

七、材料与元器件控制 18

八、制造过程控制 22

九、封装与互连控制 24

十、软件与算法控制 28

十一、智能功能验证 30

十二、检验与试验方法 33

十三、可靠性与环境适应性 38

十四、计量与设备管理 41

十五、不合格品控制 44

十六、数据与追溯管理 47

十七、交付与服务控制 51

十八、持续改进

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