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MEMS智能微系统品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 2
二、术语和定义 4
三、质量管理原则 7
四、产品分类与组成 9
五、质量目标与策划 11
六、设计开发控制 14
七、材料与元器件控制 18
八、制造过程控制 22
九、封装与互连控制 24
十、软件与算法控制 28
十一、智能功能验证 30
十二、检验与试验方法 33
十三、可靠性与环境适应性 38
十四、计量与设备管理 41
十五、不合格品控制 44
十六、数据与追溯管理 47
十七、交付与服务控制 51
十八、持续改进
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