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MEMS刻蚀结构品质控制规范.docx

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    MEMS刻蚀结构品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 4

    二、术语和定义 5

    三、品质控制原则 8

    四、品质目标 11

    五、结构设计要求 12

    六、基材与薄膜要求 15

    七、设备与工装要求 18

    八、刻蚀前准备 20

    九、掩膜层品质要求 22

    十、刻蚀工艺参数 25

    十一、结构尺寸要求 27

    十二、侧壁形貌要求 30

    十三、表面品质要求 32

    十四、检测与量测方法 34

    十五、量测设备管理 38

    十六、抽样检验规则 40

    十七、品质判定准则 43

    十八、异常处理要求 46

    十九、

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