高纯气体管路质量管控规范.docx

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高纯气体管路质量管控规范

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一、总则 3

二、术语和定义 4

三、质量管理体系 6

四、设计质量控制 9

五、材料与设备质量控制 12

六、施工准备与现场管理 14

七、管道加工与安装控制 18

八、焊接质量控制 21

九、清洁与污染防控 25

十、检验与检测 27

十一、压力试验与泄漏检测 30

十二、吹扫与系统置换 32

十三、系统验收与交付 34

十四、运行维护与变更管理 37

十五、文件记录与追溯管理 41

总则

目的界定

本规范旨在建立系统化的高纯气体管路质量管控体

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