MEMS传感器静电防护管理制度.docx

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MEMS传感器静电防护管理制度

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一、总则 4

二、适用范围 7

三、静电防护目标 9

四、管理职责 11

五、静电敏感等级 15

六、防护区域规划 17

七、人员静电防护 20

八、培训与资格管理 22

九、静电防护用品管理 24

十、接地与等电位管理 27

十一、工作台与工装管理 30

十二、生产设备静电控制 32

十三、环境温湿度管理 34

十四、物料静电防护 36

十五、MEMS芯片搬运管理 39

十六、封装与测试静电控制 41

十七、仓储与运输管理 43

十八、

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