IEC 62047-42：2022 半导体器件.微机电器件.第42部分压电MEMS悬臂梁的机电转换特性的测量方法标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电器件第42部分：压电MEMS悬臂梁的机电转换特性的测量方法标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices–Micro-electromechanicalDevices–Part42:MeasurementMethodsofElectro-mechanicalConversionCharacteristicsofPiezoelectricMEMSCantilever

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，压电MEMS悬臂梁作为一种关键微器件结构，已广泛应用于传感器、执行器、能量采集器及射频开关等领域。压电MEMS悬臂梁的机电转换特性是衡量器件性能的核心指标，其准确测量对于产品研发、质量控制和产业化应用具有重要意义。然而，在国际范围内，针对压电MEMS悬臂梁机电转换特性的测量方法长期缺乏统一的技术规范，不同企业和研究机构采用各自的方法进行测试，导致测量结果缺乏可比性，制约了该领域的国际化发展和贸易往来。在此背景下，国际电工委员会（IEC）第47技术委员会（TC47）下属的MEMS标准化分技术委员会（SC47F）组织制定了IEC62047-42:2022标准，于2022年9月正式发布。该标准系统规定了压电