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- 2026-10-23 发布于上海
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ICS31.550
CCSL97
团体标准
T/CAEEXXXX—2026
碳化硅离子注入机技术要求
Technicalrequirementsforsiliconcarbideionimplantation
equipment
（征求意见稿）
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2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施
中国电子装备技术开发协会 发布
T/CAEEXXXX—
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