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- 2026-10-22 发布于北京
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总总量研究量研究年年1100月月1122日日
1.2机械：拓荆科技688072.SH
投资建议：
公司是国内领先的前道薄膜沉积设备厂商，核心产品覆盖PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、
FlowableCVD等多类工艺，已在国内先进逻辑与存储产线实现规模化交付；同时前瞻布
局混合键合及配套量检测设备，切入异构集成与三维集成核心环节，业务由单一沉积设
备向“沉积+键合”双引擎平台化演进。薄膜沉积设备处于半导
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