CN119087752A 掩膜版转移装置及掩膜版转移方法 (上海御微半导体技术有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-22 发布于重庆
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CN119087752A 掩膜版转移装置及掩膜版转移方法 (上海御微半导体技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119087752A

(43)申请公布日2024.12.06

(21)申请号202411451515.3

(22)申请日2024.10.17

(71)申请人上海御微半导体技术有限公司

地址201208上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区祖冲之路899号10幢

1-4层01室

(72)发明人梁杰周昊郑教增

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师吴萌

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图6页

(54)发明名称

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