T∕CASAS 072-2026 半导体功率器件_模块高浓度硫化氢试验方法.docxVIP

ICS31.080.01CCS

ICS

31.080.01

CCS

L40

团 体 标 准

T/CASAS072—2026

半导体功率器件/模块高浓度硫化氢试验方法

Testmethodforhighconcentrationhydrogensulphideexposureofpowersemiconductordeviceandmodule

2026-09-28发布 2026-09-28实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布

T/CASAS072—2026

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I

II

II

目 次

前言 II

引言 III

范围 1

规范性引用文件 1

术语和定义 1

试验装置 3

试验环境 3

试验装置 3

标准铜片试样 4

试验方法 5

目的 5

测试条件 5

试验程序 5

安全须知 7

数据记录与处理 7

失效判定 8

测试报告 8

附录A（资料性） 半导体功率器件/模组高浓度硫化氢试验记录表 9

附录B（资料性） 高浓度硫化氢试验腐蚀示例图 10

参考文献 11

前 言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分