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电子工业洁净厂房设计规范.docx

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    电子工业洁净厂房设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语和符号 7

    三、基本规定 10

    四、厂址选择与总平面设计 13

    五、工艺布局 17

    六、建筑与围护结构 20

    七、洁净环境参数 22

    八、空气净化与气流组织 25

    九、空调与冷热源 27

    十、压力控制与气密性 29

    十一、排风与废气处理 33

    十二、给水与排水 35

    十三、工艺气体系统 39

    十四、化学品供应与储存 42

    十五、电气与供配电 45

    十六、照明与应急照明 48

    十七、消防与安全疏散 51

    十八、自动控制与监测

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