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电子工业洁净厂房工程技术方案.docx

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    电子工业洁净厂房工程技术方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、建设目标与范围 5

    三、设计原则 8

    四、厂房总体规划 10

    五、工艺流程与布局 13

    六、洁净等级与环境参数 16

    七、建筑与围护结构 22

    八、洁净室装修设计 26

    九、空气净化系统 28

    十、空调冷热源系统 32

    十一、气流组织与压差控制 34

    十二、温湿度控制 37

    十三、给排水系统 40

    十四、工艺气体系统 42

    十五、化学品供应与排风 45

    十六、电气与供配电系统 49

    十七、照明与接地系统 51

    十八、智能

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