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半导体器件老化测试规范.docx

半导体器件老化测试规范.docx

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    半导体器件老化测试规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、规范性引用文件 4

    三、术语和定义 6

    四、测试目标与基本原则 9

    五、器件分类与样品要求 11

    六、测试项目与失效机理 14

    七、测试设备与系统要求 17

    八、测试环境与条件 20

    九、样品筛选与预处理 24

    十、老化应力条件设定 26

    十一、老化测试流程 30

    十二、在线监测与数据采集 33

    十三、中间检查与异常处置 39

    十四、测试终止与恢复处理 43

    十五、性能参数测量方法 45

    十六、失效判定与分析 49

    十七、数据处理

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