半导体洁净室施工组织方案.docx

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半导体洁净室施工组织方案

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一、工程概况 3

二、施工组织目标 4

三、施工组织机构 6

四、施工准备工作 8

五、施工总平面布置 10

六、施工进度计划 13

七、洁净室围护结构施工 15

八、洁净室吊顶施工 18

九、洁净室地面施工 21

十、空调净化系统施工 23

十一、电气与照明系统施工 27

十二、工艺管道系统施工 29

十三、消防与给排水系统施工 31

十四、设备安装与搬入 33

十五、洁净室污染控制 35

十六、施工质量管理 37

十七、施工安全管理 40

十八

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