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半导体洁净厂房运维手册.docx

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    半导体洁净厂房运维手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则与适用范围 2

    二、洁净厂房系统构成 5

    三、洁净环境参数管理 7

    四、人员出入与行为管理 9

    五、物料设备进出管理 12

    六、洁净区清洁与消毒 15

    七、空气净化系统运行 18

    八、空调与温湿度控制 21

    九、工艺气体系统运维 23

    十、纯水与废水系统运维 27

    十一、供配电与应急电源 29

    十二、消防与安全设施管理 33

    十三、设备巡检与预防维护 38

    十四、监测仪器校准管理 40

    十五、异常事件与故障处置 43

    十六、运行记录与数据管理 4

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