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集成电路洁净室施工规范.docx

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    集成电路洁净室施工规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、术语和定义 2

    二、基本规定 8

    三、施工准备 10

    四、施工测量与放线 13

    五、建筑装饰施工 15

    六、洁净围护结构施工 18

    七、空气净化系统施工 21

    八、空调与冷热源系统施工 24

    九、电气与照明系统施工 26

    十、工艺管道系统施工 29

    十一、给排水与消防系统施工 32

    十二、自动控制与监测系统施工 35

    十三、防静电与接地施工 38

    十四、施工质量验收 42

    十五、运行调试与交付 44

    术语和定义

    洁净室

    洁净室是指在特定环境下，利用空

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