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电子封装洁净车间设计方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、设计目标与总体思路 3
二、工艺需求分析 5
三、洁净等级与环境参数 8
四、厂址选择与总平面布局 11
五、建筑与洁净装修设计 15
六、洁净空调系统设计 18
七、空气净化与气流组织 23
八、温湿度控制设计 25
九、压差与气密性设计 27
十、工艺设备与产线布局 30
十一、给排水与纯水系统设计 32
十二、电气与照明系统设计 35
十三、工艺气体与化学品供应 40
十四、静电防护与接地设计 42
十五、消防与安全设计 44
十六、废气废水与
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