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电子元器件洁净车间设计规范.docx

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    电子元器件洁净车间设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语与定义 5

    三、设计原则与目标 10

    四、洁净等级与环境参数 14

    五、厂址选择与总图布局 16

    六、工艺流程与空间规划 19

    七、建筑与围护结构 21

    八、洁净室装修与材料 24

    九、空气净化与气流组织 27

    十、暖通空调与冷热源 30

    十一、给水排水与纯水系统 33

    十二、电气与照明系统 35

    十三、工艺气体与化学品系统 40

    十四、设备选型与安装要求 42

    十五、静电防护与接地设计 46

    十六、消防与安全设施 48

    十七、

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