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功率半导体器件失效分析手册
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一、功率半导体器件失效分析概述 3
二、器件结构与工作原理 4
三、失效模式与失效机理 6
四、失效分析流程与技术路线 10
五、样品接收与信息管理 14
六、失效现象观察与初步判断 16
七、电性能测试与参数分析 18
八、无损检测与成像技术 21
九、开封制样与物理分析 25
十、材料与界面分析技术 27
十一、热失效与电热耦合分析 30
十二、封装可靠性与互连失效 33
十三、芯片失效与工艺缺陷分析 35
十四、失效根因判定与证据管理 37
十五、
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