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电子工业洁净厂房工程培训课件.docx

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    电子工业洁净厂房工程培训课件

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、电子工业洁净厂房概述 3

    二、电子制造工艺与厂房需求 6

    三、厂区规划与总图设计 9

    四、洁净室等级与环境参数 14

    五、洁净厂房建筑与围护结构 18

    六、空气净化系统设计 20

    七、气流组织与洁净度控制 22

    八、温湿度与压差控制 24

    九、洁净室材料与装修要求 29

    十、工艺排风与废气处理 32

    十一、纯水与工艺冷却水系统 35

    十二、特种气体与化学品供应 37

    十三、电气供配电与防静电设计 39

    十四、照明与备用电源配置 42

    十五、消防系统与

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