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集成电路厂房机电系统设计手册.docx

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    集成电路厂房机电系统设计手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、集成电路厂房机电系统概述 2

    二、工艺需求与设计条件 3

    三、厂区机电管线规划 6

    四、洁净室环境控制系统 9

    五、空调与通风系统 12

    六、冷冻水与冷却水系统 16

    七、工艺冷却水系统 19

    八、纯水与超纯水系统 23

    九、废水处理与回用系统 25

    十、工艺气体与特种气体系统 27

    十一、化学品供应与工艺排气系统 30

    十二、真空与压缩空气系统 36

    十三、供配电与应急电源系统 39

    十四、照明与防雷接地系统 42

    十五、消防与安全保障系统 47

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