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光电器件洁净厂房设计规范.docx

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    光电器件洁净厂房设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、术语 6

    三、基本规定 7

    四、厂址选择与总平面布置 10

    五、工艺设计 17

    六、工艺设备与设施 19

    七、洁净室等级与环境参数 23

    八、建筑与装修 27

    九、空气净化与通风 30

    十、给水排水 31

    十一、气体与化学品供应 34

    十二、电气与自动化控制 36

    十三、消防与安全 40

    十四、防静电与电磁兼容 45

    十五、振动噪声与微振控制 48

    十六、监测与验证 51

    十七、运行维护与管理 54

    总则

    目的与适用范围

    本规范旨

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