GB/T 48345-2026用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片.pdf

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  •   |  2026-09-28 颁布
  •   |  2027-04-01 实施

GB/T 48345-2026用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片.pdf

ICS29.045

CCSH83

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GB/T48345—2026

用于HEMT功率器件的硅衬底氮化

镓外延片

GaNonSiepitaxialwafersforHEMTpowerdevices

2026-09-28发布2027-04-01实施





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GB/T48345—2026

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