放电离子化气相色谱仪校准规范 标准立项发展报告.docx

放电离子化气相色谱仪校准规范标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:CalibrationSpecificationforDischargeIonizationGasChromatographs

摘要

随着我国半导体集成电路、新型显示、光伏新能源等战略性新兴产业的快速发展，电子特种气体、超高纯气体及稀有气体的质量控制需求日益迫切。放电离子化气相色谱仪凭借放电离子化检测器（DID）极高的灵敏度，能够对氦、氖、氩、氪、氙等永久性气体及高纯气体中ppb级痕量杂质进行准确测定，已成为气体分析领域不可或缺的高端