集成电路制造技术 课件 第十四章 良率提升.pptx

集成电路制造技术

第十四章良率提升

一、良率的定义和简介二、良率损失的来源和分类三、缺陷与检测四、基于缺陷的良率模型五、工艺能力和统计过程控制六、人工智能技术提升良率的应用前景

一、良率的定义和简介良率是合格产品数与总生产数之比，是衡量生产质量与效率的重要指标。在集成电路制造中，常见四种良率：晶圆测试良率电气测试良率封装良率产品应用良率其中，电气测试良率最关键，直接反映芯片功能完好率。第十五章良率提升

二、良率损失的来源和分类第十五章良率提升1.良率损失的来源良率损失来源良率损失额(%)污染物10设计4工艺参数变化5光刻误差3材料缺陷8污染物（ParticlesContaminati