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集成电路洁净厂房设计方案.docx

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    集成电路洁净厂房设计方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、设计目标与范围 5

    三、工艺需求分析 9

    四、厂址与总图布局 13

    五、洁净等级规划 17

    六、建筑与围护结构设计 19

    七、洁净空调系统设计 25

    八、通风与排气系统设计 27

    九、给水与排水系统设计 32

    十、工艺气体系统设计 35

    十一、化学品供应系统设计 38

    十二、超纯水系统设计 41

    十三、电气与照明系统设计 45

    十四、自动控制与监测系统 48

    十五、消防与安全设计 51

    十六、物流与人员流线设计 54

    十七、节能

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