原创力文档PAGE
集成电路生产车间环境控制方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、编制目标与适用范围 2
二、生产工艺与环境控制需求 4
三、车间功能分区与洁净等级 5
四、洁净室建筑与围护结构 10
五、空气净化与气流组织 13
六、温湿度控制方案 16
七、压差与气密性控制 18
八、微振动与噪声控制 20
九、照明与静电防护 24
十、工艺排风与废气处理 26
十一、纯水与工艺冷却水控制 28
十二、供配电与备用电源 31
十三、自动监测与控制系统 34
十四、人员与物料净化管理 38
十五、设备运行与维护管理 40
十六
文档评论（0）