《硅多晶副产硅粉组分测定 第1部分 氯硅烷含量的测定 气相色谱法》.docx

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YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/TXXXX-XXXX

硅多晶副产硅粉组分的测定

第1部分氯硅烷含量的测定气相色谱法

CompositionAnalysisofPolycrystallineSiliconBy-productSiliconPowder—Part1:Determinationofchlorosilanes—Gaschromatography

(送审稿)

XXXX-XX-XX发布

XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部

发布

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YS/TXXXX-XXXX

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硅多晶副产硅粉组分的测定

氯硅

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