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- 2026-10-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119268854A
(43)申请公布日2025.01.07
(21)申请号202411456173.4
(22)申请日2024.10.17
(71)申请人杭州微影软件有限公司
地址310051浙江省杭州市滨江区西兴街
道丹枫路399号2号楼B楼313室
(72)发明人裴国超陈松林
(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理
有限公司11274
专利代理师赵丹
(51)Int.Cl.
G01J5/80(2022.01)
G01J5/48(2022.01)
权利要求书2页说明书13页附图3页
(54
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