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半导体用石英材料项目施工方案
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一、项目概况 3
二、施工组织部署 4
三、施工准备工作 11
四、施工总平面布置 13
五、施工进度计划 19
六、施工资源配置 22
七、场地平整与地基处理 25
八、建筑工程施工 26
九、结构工程施工 33
十、洁净厂房施工 36
十一、石英材料生产线安装 37
十二、工艺管道安装 42
十三、供配电系统施工 44
十四、给排水系统施工 46
十五、通风空调系统施工 50
十六、洁净室环境控制 52
十七、自动化
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