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电子工业洁净厂房设计规范技术指南

规范概述与发展历程

电子工业洁净厂房设计规范GB50472是我国电子制造业洁净环境建设的核心标准，自2008年颁布实施以来已成为行业设计建设的金科玉律。该规范针对半导体、集成电路、显示面板等高端电子制造的特殊需求，系统规定了从厂房选址到各专业系统的设计要求，其技术内容既与国际标准ISO14644保持协调，又充分考虑了我国电子工业发展的实际情况。

规范的历史可追溯至1985年第一版洁净厂房设计标准，经过2008年的全面修订，形成了目前的技术体系。最新版本在空气洁净度分级、环境参数控制、节能措施等方面均有显著提升，特别是强化了对微电子制造中分子级污染物的控制要求。