JC-T+3079—2026钙镁锆共掺钆镓石榴石单晶衬底培训课件.pptxVIP

JC-T3079—2026钙镁锆共掺钆镓石榴石单晶衬底培训课件

目录

02

标准适用范围与术语

01

标准编制背景与意义

03

技术要求与性能指标

04

试验方法与检验规则

05

标志、包装与贮存运输

06

培训总结与行业应用

标准编制背景与意义

01

钆镓石榴石单晶作为重要的磁光材料，主要用于液相外延生长石榴石铁氧体薄膜，是制备磁光隔离器、磁光波导等器件的关键衬底基座。

磁光器件核心基座

钆镓石榴石单晶衬底应用现状

晶格匹配需求导向

常见切型与应用

纯钆镓石榴石晶格常数约为12.38埃，为满足不同组分铁石榴石薄膜的晶格匹配要求，需对衬底晶格常数进行精确调控以保障外延质量。

下游应用集中在磁光隔离器、磁光波导与磁光电流传感等器件的外延衬底，常见切型为(111)，对结晶质量与表面几何参数要求极高。

钙镁锆共掺技术的引入与发展

离子取代机制

钙离子进入十二面体格位取代钆，镁离子与锆离子主要进入八面体格位取代镓，实现晶格结构的取代型改造与性能优化。

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晶格常数可调

随钙镁锆总掺入量提高，晶格常数相应增大，实现与不同组分铁石榴石薄膜的精准匹配，奠定磁光外延应用基础。

电荷补偿设计

钙与镁的低价取代产生电荷亏空，锆的高价取代起补偿作用，三者的掺入比例严格按电中性原则进行科学设计与精确调控。

简称规范区分

此类取代型钆镓石榴石常简写为SGGG，需与含钪的钆钪镓石榴石GS